晶升股份自主研发大尺寸CVD SiC涂层成套设备完成交付

近日，晶升股份自主研发的大尺寸CVDSiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户，标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展，为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。